Project Category: Semi-conducteur
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Porte de chargement des cassettes pour chambre à vide
Porte de chargement automatisée de cassettes de wafer pour chambre à vide
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Mesure de la distance de process
Mesure de l’écart micrométrique entre la plaquette et la tête de traitement
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Banc d’essai semi-conducteur
Acquisition de composants électroniques et logiciels pour un banc d’essai de semi-conducteurs
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Axe de nano-positionnement Z-Rz
Axe Z/Rz de nanopositionnement haute vitesse
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Chuck pour système semi-conducteur
Conception et prototypage d’un chuck innovant avec une contrainte intéressante
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Actionnement piezo-électrique nanométrique
Caractérisation approfondie du comportement des actionneurs piézoélectriques pour les applications de nanopositionnement